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ハンドリング装置100の制御部101は、ハンドリングユニット10や上記圧力調整器P1,P2及び開閉弁V1,V2とともに、各所の駆動部M1、M2、・・・、Mn(nは2以上の自然数)を制御する。制御部101は、上記圧力調整器P1,P2に制御信号Rp1,Rp2を出力することによって流体の供給圧や排気圧を制御する。また、制御部101は、開閉弁V1,V2に制御信号Rv1,Rv2を出力することによって流体の供給と停止、排気の開始と終了を制御する。さらに、制御部101は、上記駆動部M1、M2、・・・、Mnに設置された位置検出器からの検出信号Sm1,Sm2,・・・,Smnを受けるとともに、上記駆動部M1、M2、・・・、Mnに対して制御信号Rm1,Rm2,・・・,Rmnを出力して、それらの作動状態を制御する。なお、上記駆動部M1、M2、・・・、Mnには、例えば、ハンドリングユニット10の位置及び姿勢を制御するための、1又は複数のロボットアームの駆動機構などといったユニット駆動系が含まれる。

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前記ハンドリングユニットの前記シリンダ構造内に流体を供給する流体供給手段と、

コレット、前記コレットを駆動する作動体、及び、前記コレットと前記作動体を収容し、流体供給口を備えるシリンダ構造を含むハウジング、を有するハンドリングユニットと、 前記ハンドリングユニットの位置及び姿勢を定めるユニット駆動系と、

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清·梁章鉅《歸田瑣記·張孟詞貢士》:“阮芸台師哭孟詞雲:‘張孟詞志趣高潔,風儀峻朗,博聞元覽,穎秀邁倫。’”

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特開平11-281649号公報 実用新案登録第2605038号公報 特許文献1に記載の蓋把持装置では、コレットチャックとこれを駆動するソレノイドが軸方向に配列されるため、把持部と駆動系の一体性が低いために全体が大型化するという問題がある。また、コレットチャックを軸方向に作動させることで把持動作を行うため、コレットの位置精度を保ちにくいことから、把持部の把持精度や繰り返し精度が低下しやすいという問題もある。

図3には、第2実施形態のハンドリングユニット20の縦断面図(a)及び背面図(b)を示す。この第2実施形態では、第1実施形態と同様のコレット21、ハウジング22及び作動体23を備え、第1実施形態と同様のコネクタ28を介して流体供給口22pから流体がシリンダ構造内に供給可能になっている。このため、第1実施形態と同様に構成される部分の説明は省略する。ただし、本実施形態は、ハウジング22の支持部22dに設けられた通気口22qにコネクタ29を接続し、コネクタ29を介して通気口22qから軸孔21x内へ流体を供給したり、軸孔21x内から通気口22qを介して流体を排出したりすることができるようになっている点で第1実施形態と異なる。ここで、通気口22qは、後述する排気装置や流体供給源に接続される場合において上記流体吸排口を構成する。

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